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“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關鍵技術與納米測量應用”科技成果鑒定圓滿結束


發布時間:2020-09-14 10:27:24

 
 
      2019年4月13日,中國計量測試學會組織有關專家對華中科技大學完成的“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關鍵技術與納米測量應用”科技成果進行了鑒定。
      
      天津大學葉聲華院士、西安交通大學蔣莊德院士、清華大學尤政院士、大連理工大學賈振元教授、中國計量科學研究院高思田研究員、北京理工大學趙維謙教授、西北工業大學苑偉政教授、上海交通大學朱利民教授、浙江大學居冰峰教授作為鑒定委員參加鑒定會。
      鑒定會由葉聲華院士主持。鑒定委員會聽取了項目組人員所作的項目工作總結、技術研究匯報、查新情況、效益情況等;聽取了測試組組長匯報的測試情況以及用戶介紹的使用情況。同時,進行了現場考察。
      
      該項目由華中科技大學劉世元教授團隊和武漢頤光科技有限公司共同完成。項目提出一系列新原理、發明新技術、構建新模型,并研制出我國第一臺精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀,實現了成果轉化與產業化,形成了系列高端橢偏儀產品。經鑒定會全體評審專家認真評審,一致認為:該成果理論上有重要創新、技術上有重大突破,整體技術達到國際先進水平。其中,基于復合波片的寬光譜超級消色差偏振相位延遲技術和基于橢偏散射的納米結構計算測量方法屬國際首創,處于國際領先水平。
      該項目打破了長期以來國外企業對我國高端橢偏儀市場的壟斷,填補了我國在高端橢偏儀領域的空白,自2013年實現成果轉化和產業化以來,儀器在國內外100余家學術機構獲得成功應用,產生了重要的國內外影響,對我國先進制造業產生重大意義。

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